DINAMO – Digitalisatieroute voor dimensionele nanometrologie
Projecten
Slimmere en beter herleidbare metingen in nanometrologie
Binnen het Europese project DINAMO (Digitalisation Route for Dimensional Nanometrology) werkt VSL samen met internationale partners aan de ontwikkeling van een digitalisatieroute voor dimensionele nanometrologie. Het project richt zich op het verbeteren van de herleidbaarheid, betrouwbaarheid en reproduceerbaarheid van meetresultaten, met een specifieke focus op scanning probe microscopie.

Meer weten over onze diensten?
Onze experts staan voor je klaar.
Walter Knulst
Principal Scientist Length & Optics
Uitdaging: van ruwe meetdata naar betrouwbare resultaten
In de dimensionele nanometrologie gaat de relatie tussen ruwe meetdata en het uiteindelijke meetresultaat vaak verloren doordat acquisitie- en analysestappen niet volledig worden vastgelegd. Hierdoor kunnen dezelfde datasets, afhankelijk van de uitgevoerde verwerking, verschillende resultaten opleveren.
De rol van VSL
VSL levert een belangrijke bijdrage aan de ontwikkeling van metadata-oplossingen voor virtuele kalibratiestandaarden. Hierbij wordt onderzocht hoe relevante parameters, zoals amplitude, golfvorm, frequentie en fase van gegenereerde signalen, systematisch kunnen worden vastgelegd.
Verwachte resultaten
Binnen het project worden nieuwe virtuele kalibratiestandaarden ontwikkeld voor zowel staphoogte- als laterale metingen. Daarnaast werken de projectpartners aan:
- Het opstellen van specificaties voor virtuele kalibratiestandaarden;
- Het uitvoeren van onzekerheidsanalyses;
- De ontwikkeling en fabricage van nieuwe virtuele standaarden;
- Deelname aan internationale ringvergelijkingen om de prestaties van de standaarden te valideren.
DINAMO draagt daarmee bij aan de verdere digitalisering van nanometrologische meetprocessen en ondersteunt de ontwikkeling van betrouwbare meetmethoden voor toekomstige hightech- en halfgeleidertoepassingen.
Meer informatie over het onderzoek is te vinden op de project-website.
“Het project ontvangt financiering van het European Partnership on Metrology, gecofinancierd door het Horizon Europe Research and Innovation Programme van de Europese Unie en door de deelnemende staten. “
Projecten
Onze expertise in de praktijk
Bekijk onze andere projecten.















