Halfgeleiders

Metrologie voor next‑gen chips, vermogenselektronica en fotonica

VSL ondersteunt chipfabrikanten, equipment builders en toeleveranciers met onafhankelijke, uiterst nauwkeurige metingen en standaarden op nano‑ en microschaal. Zo krijgt u objectieve referenties voor processen, tooling en nieuwe technologieën.

Introductie

Metrologie is onmisbaar voor de halfgeleiderindustrie

 

In de productie van geavanceerde chips, PIC’s en vermogenselektronica is elke nanometer en elke picoseconde relevant. Nieuwe node‑generaties, 3D‑architecturen en wide bandgap‑materialen als SiC en GaN vergroten de complexiteit. Tegelijk staat de druk op prijs en doorlooptijd hoog.

Maar zonder onafhankelijke referentie heb je niet altijd het antwoord op vragen als: wat is de echte kritische dimensie van deze structuur? Hoe betrouwbaar is mijn meting bij extreme aspect ratios? Of hoe presteert een nieuw device onder cryogene omstandigheden? Zonder traceerbare referenties is het lastig technologieën te benchmarken, specificaties te onderbouwen, en overtuigend aan te tonen dat je voldoet aan normen en afspraken.

Meer weten over onze diensten?

Onze experts staan voor je klaar.

Michael van Schaik
Sr. Accountmanager

vsl@vsl.nl

De rol van metrologie in de semicon-keten

 

Metrologie levert de onafhankelijke basis waarmee je:

  • Dimensies, vormen en ruwheden op nano‑schaal kunt kalibreren en verifiëren;
  • Elektrische en RF‑eigenschappen van devices on‑wafer en in packaging kunt karakteriseren;
  • Nieuwe sensortechnologie, fotonica‑building blocks en quantum devices kunt benchmarken;
  • Efficiëntie en betrouwbaarheid van vermogenselektronica objectief kunt bepalen.

 

Door traceerbare standaarden en hybride meetstrategieën (bijvoorbeeld AFM gecombineerd met optische technieken en on‑wafer metingen) ontstaat een robuust referentiekader voor uw eigen inline‑metrologie.

Hoe VSL de halfgeleiderindustrie ondersteunt

 

VSL heeft een gespecialiseerde rol binnen de Nederlandse en Europese semicon‑branche, met diensten die aansluiten op zowel R&D als productie, waaronder:

  • Ontwikkeling en toepassing van geavanceerde nanometrologietechnieken (AFM, scatterometrie, ptychografie) voor karakterisatie van nanostructuren.
  • Kalibratie van optische systemen, waaronder NA‑kalibraties van microscoopobjectieven, voor herleidbare microscopie.
  • On‑wafer DC‑ en RF‑karakterisatie van componenten, inclusief metingen bij cryogene temperaturen in samenwerking met quantum‑partners.
  • Ondersteuning rondom metrologie voor photonics en geïntegreerde fotonica – bijvoorbeeld bij karakterisatie van optische verliezen, lichtvelden en bonded connections.
  • Metingen en methoden voor evaluatie van vermogenselektronica, gericht op efficiëntie, thermisch gedrag en betrouwbaarheid.

 

VSL werkt bovendien nauw samen met universiteiten, onderzoeksinstituten en industrie in nationale en Europese projecten, zodat je profiteert van de nieuwste metrologische inzichten zonder zelf een volledig primair meetlab te hoeven opbouwen.

Versnel semicon-innovatie met onafhankelijke metrologie

 

Werk je aan nieuwe nodes, PIC’s, quantumdevices of WBG‑vermogenselektronica en zoek je onafhankelijke validatie of kalibratie? Of wil je je metrologische roadmap spiegelen aan internationale standaarden? VSL helpt je om je keuzes te onderbouwen en risico’s in R&D en opschaling te verkleinen.

Lees hier de laatste meetontwikkelingen op het gebied van:

Ook interessant: