Traceerbare metrologie van zachte röntgenstraling naar IR optische constanten en nanofilms voor geavanceerde fabricage (20IND04 ATMOC)

De optische en halfgeleiderindustrieën gebruiken innovatieve materialen en complexe nanostructuren in hun producten waarvan de optische eigenschappen moeilijk te meten en vaak niet nauwkeurig bekend zijn. Dit project ontwikkelt geavanceerde wiskundige methoden om deze materialen traceerbaar te karakteriseren voor golflengtebereiken van zachte röntgenstraling tot IR.