VSL biedt nu autonome on-wafer metingen met nieuw geautomatiseerd probingsysteem

VSL biedt nu autonome on-wafer metingen met nieuw geautomatiseerd probingsysteem

VSL beschikt nu over een volledig autonoom on-wafer meetsysteem, een belangrijke mijlpaal voor de herleidbare kalibraties op chips. Bij on-wafer metingen worden elektrische eigenschappen namelijk rechtstreeks op een chip gemeten, nog vóór hij wordt verpakt in een behuizing. Omdat moderne elektronische componenten inmiddels op nanoschaal worden gemaakt, zijn ze te klein om betrouwbaar handmatig te meten. Daarvoor heeft VSL nu een probingsysteem ontwikkeld: een zeer nauwkeurige robotarm die met RF probes contact maakt met de chip en via software wordt aangestuurd.

Tot nu toe waren die metingen sterk afhankelijk van de gebruiker die het systeem bediende. Dat is niet bepaald ideaal, omdat elke meting juist op dezelfde, reproduceerbare manier moet worden uitgevoerd. De afgelopen jaren hebben we daarom in een multidisciplinair team gewerkt aan het volledig automatiseren van het probingsysteem. De software stuurt nu zelfstandig alle stappen van de meting aan volgens vastgelegde protocollen zonder tussenkomst van een operator.

Voor klanten betekent dit dat on-wafer kalibraties volledig autonoom en steeds op identieke wijze worden uitgevoerd, waardoor on-chip devices goed met elkaar kunnen worden vergeleken. De meetnauwkeurigheid blijft daarmee stabiel en in overeenstemming met de accreditatie-eisen. In de komende maanden werkt VSL verder aan een herleidbare hoogfrequente (HF) kalibratiedienst voor on-wafer componenten, zodat de industrie kan blijven vertrouwen op consistente en internationaal herleidbare meetresultaten.